悬浮式微机电结构体

摘要

本实用新型公开了一种悬浮式微机电结构体，它包括：一基底；数个支撑体，每一支撑体的一端连设于该基底的上表面；一浮动板，该浮动板连接各支撑体的另一端，以使浮动板悬浮于该基底的垂直延伸位置处。该结构体可为一弹性结构体，由于各支撑体具有可挠性，所以使得当悬浮式微机电结构体受外力动作时，浮动板可相对基底位移，并在动作停止后恢复，从而使本实用新型悬浮式微机电结构体成为一感应器，例如，加速器或波动感应器等。

主权项

1、一种悬浮式微机电结构体，其特征在于它包括：一基底；数个支撑体，每一支撑体的一端连设于该基底的上表面；一浮动板，该浮动板连接各支撑体的另一端，以使浮动板悬浮于该基底的垂直延伸位置处。