| 发明名称 | 固体摄像装置和其制造方法 | ||
| 摘要 | 提高灵敏度特性，对于摄像装置的光圈(F值)特性，灵敏度特性的降低较小的固体摄像装置及其制造方法。固体摄像装置具有：配置有受光部(12)的摄像区域；具有配置于受光部(12)的上方，形成开口部的金属布线(22A)、(22B)、(22C)和第1绝缘膜(20)的布线层；按每个受光部(12)设置，在布线层上或上部形成的层内透镜(24)；在布线层和层内透镜(24)上形成的透明的第2绝缘膜(26)；按每个受光部(12)设置，形成于第2绝缘膜(26)，上表面为凸状曲面的顶部透镜(28)；和在顶部透镜(28)上形成，由比顶部透镜(28)低的折射率的材料构成的透明的透明膜(30)。使入射光的至少一部分的焦点位于半导体基板(10)的上方的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN101339952A | 申请公布日期 | 2009.01.07 |
| 申请号 | CN200810135706.3 | 申请日期 | 2008.07.03 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 胜野元成;宫川良平 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像装置，具有：由在半导体基板形成的多个受光部构成的摄像区域；配置于所述多个受光部上，由金属布线和绝缘膜形成的多层布线层；按每个所述受光部设置，形成于所述多层布线层上的第1透镜；形成于所述第1透镜的上方的第2透镜；和形成于所述第2透镜上的透明膜；所述透明膜的折射率比所述第2透镜的折射率低，所述第2透镜的厚度比所述第1透镜的厚度厚。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||