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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE TEMPERATURE OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP2010880(A2) 申请公布日期 2009.01.07
申请号 EP20070735544 申请日期 2007.04.19
申请人 NXP B.V. 发明人 KORDIC, SRDJAN;LUNENBORG, MEINDERT M.;JACQUEMIN, JEAN-PHILIPPE
分类号 G01K7/32;G01K7/34 主分类号 G01K7/32
代理机构 代理人
主权项
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