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发明名称 Interferometer and shape measuring method
摘要
申请公布号 EP1724550(B1) 申请公布日期 2009.01.07
申请号 EP20060114142 申请日期 2006.05.18
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人 KAWASAKI, KAZUHIKO;SUZUKI, YOSHIMASA;SESKO, DAVID W
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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