| 发明名称 | 太阳能电池扩散设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉和机台排风端，扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终太阳能电池的效率5％。 | ||
| 申请公布号 | CN201171053Y | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200820031097.2 | 申请日期 | 2008.01.28 |
| 申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 马祥柱;单惠标;仝斌;许结刚 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01) | 主分类号 | H01L31/18(2006.01) |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 王凌霄 |
| 主权项 | 1、一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉(1)和机台排风端(2)，扩散炉(1)内产生的废气通过管道从机台排风端(2)排出，其特征是：所述的机台排风端(2)安装排风压力控制阀(3)和相应的排风压力控制器(4)。 | ||
| 地址 | 213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 | ||