一种二阶段背式刻蚀的方法

摘要

一种二阶段背式刻蚀的方法，该方法包括：先提供已具有数层硬罩幕层的基板。接着，第一次背刻蚀基板背面与侧边，以移除基板背面与侧边的部分硬罩幕层。而后，依序图案化硬罩幕层与基板，以在基板内形成数个沟渠。最后，在进行一湿槽清洗步骤之前，第二次背刻蚀基板侧边，以移除位于基板侧边的针状结构。

主权项

1、一种二阶段背式刻蚀的方法，其特征在于，该方法至少包含：提供一基板，该基板具有多个硬罩幕层；第一次背刻蚀该基板的背面与侧边，以移除位于该基板背面与侧边的该硬罩幕层；依序图案化该硬罩幕层与该基板，以在该基板内形成多个沟渠；在进行一湿槽清洗步骤之前，第二次背刻蚀该基板侧边，以移除位于该基板侧边的多个针状结构。