一种大气下扫描原子力和隧道电流联合显微镜

摘要

本发明公开了一种大气下扫描原子力和隧道电流联合显微镜包括探头部分和控制部分，其中探头部分包括金属探针、石英音叉、扫描管和粗进针机制，金属探针和石英音叉通过导电胶粘接固定，粗进针机制调节金属探针与样品的间距，扫描管控制金属探针在样品上的二维相对扫描运动；控制部分包括STM部分和AFM部分。本发明基于石英音叉的扫描原子力和隧道电流联合显微镜，可以对样品进行力学和电学性质的表征。对于导电样品利用本发明可以同时得到同一位置的扫描隧道电流图像和相互作用力的图像，从而可更全面和更深入的理解样品材料的性质或结构的性质。

主权项

1、一种大气下扫描原子力和隧道电流联合显微镜，其特征在于，包括探头部分和控制部分，其中探头部分包括金属探针、石英音叉、扫描管和粗进针机制，金属探针和石英音叉通过导电胶粘接固定，粗进针机制调节金属探针与样品的间距，扫描管实现金属探针与样品的二维相对运动；控制部分包括STM部分和AFM部分。