发明名称 Vertikale Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE602004017675(D1) 申请公布日期 2008.12.24
申请号 DE200460017675T 申请日期 2004.08.02
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 TOKUDA, NORIFUMI;MINATO, TADAHARU;KANEDA, MITSURU
分类号 H01L21/76;H01L29/739;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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