大型石英芯棒母材制造装置

摘要

一种大型石英芯棒母材制造装置，包括长方体形状的金属反应容器、容器侧面设置的含有平板整流器和楔形气体导向装置的水平气体导入装置、容器顶部设置的上部气体导入装置，这种装置制作简单、坚固耐用、不易开裂，消除了反应容器内的气流紊乱现象，使芯棒母材沉积稳定，可以将未沉积到母材上的石英粒子迅速从排气口排出反应容器，减少石英粒子落到反应容器的侧壁上，进而防止侧壁上的石英粒子再落下使母材产生缺陷，提高母材质量。

主权项

1、一种大型石英芯棒母材制造装置，包括上方设有悬挂靶棒的提升机构的反应容器，反应容器下方具有芯层喷枪和包层喷枪，反应容器一侧面设有连接排风机的排气口，其特征在于反应容器为金属长方体，容器顶部设置具有气体导入孔的上部气体导入装置，在与容器排气口相对的侧面设置水平气体导入装置，其气体出口处于两喷枪的上方且对准排气口，水平气体导入装置内设置由多层平板构成的平板整流器。