发明名称 含氟聚合物、负型感光性组合物及间隔壁
摘要 本发明提供即使以低曝光量也能够形成间隔壁上的墨的残渣少、膜厚均一性高的墨层的含氟聚合物及负型感光性组合物。该含氟聚合物是2种以上的具有乙烯性双键的单体的共聚物,具备含有至少1个氢原子被氟原子取代了的碳数20以下的烷基的侧链和在1条侧链具有2个以上的乙烯性双键的侧链;所述烷基可在碳原子间具有醚性氧原子。负型感光性组合物含有该含氟聚合物。
申请公布号 CN101331157A 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200680047273.5 申请日期 2006.12.14
申请人 旭硝子株式会社 发明人 高桥秀幸;石関健二
分类号 C08F8/00(2006.01);C08F220/22(2006.01);C08F290/12(2006.01);G02B5/20(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/038(2006.01);H01L21/027(2006.01);H05B33/12(2006.01);H05B33/22(2006.01) 主分类号 C08F8/00(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 刘多益
主权项 1.含氟聚合物,它是2种以上的具有乙烯性双键的单体的共聚物,其特征在于,具备含有至少1个氢原子被氟原子取代了的碳数20以下的烷基的侧链和在1条侧链具有2个以上的乙烯性双键的侧链,所述烷基可在碳原子间具有醚性氧原子。
地址 日本东京