精确定位聚焦离子束修补位置的方法

摘要

本发明提供一种可以精确定位聚焦离子束修补位置的方法，主要通过光学透射显微镜配合激光标记来定位目标区域，光学透射式显微镜能够透过钝化层直接显示其下的线路结构，而传统方法中使用的聚焦离子束成像只能显示样品最外层的情况，因此本发明的方法可以更精确地定位聚焦离子束修补位置。另外本发明在涂料上作标记的激光能量较低，不会损坏样品材质。而且，所采用的涂料可以用化学试剂，例如丙酮，将涂料轻松洗去，可以反复涂抹，不会影响后续步骤。

主权项

1、一种精确定位聚焦离子束修补位置的方法，其特征在于包括下列步骤：(1)在测试样品的表面涂上一层透明的绝缘性涂料，使涂料均匀地涂布在目标区域的周围；(2)在光学显微镜指示下，用激光去除样品上目标点周围小块合适区域，即后续需要作处理的区域上的涂料；(3)在扫描式电子显微镜或者聚焦离子束的显像中找到没有涂料的区域，作为目标点所在的位置，用聚焦离子束蚀刻至暴露出目标金属层结构，然后可以对目标区域进行切割、修补操作。