发明名称 |
用于制造p型半导体结构的方法 |
摘要 |
本发明的一个实施例提供了一种用于制造III-V族p型氮化物结构的方法。该方法包括在第一生长环境中生长具有第一受主浓度的第一层p型III-V族材料。该方法还包括在第二生长环境中在第一层的顶部上生长第二层p型III-V族材料,其比第一层厚并且其具有第二受主浓度。另外,该方法包括在第三生长环境中在第二层的顶部上生长第三层p型III-V族材料,其比第二层薄并且其具有第三受主浓度。 |
申请公布号 |
CN101330118A |
申请公布日期 |
2008.12.24 |
申请号 |
CN200710112585.6 |
申请日期 |
2007.06.22 |
申请人 |
晶能光电(江西)有限公司 |
发明人 |
江风益;王立;方文卿;莫春兰 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 |
代理人 |
王茂华 |
主权项 |
1.一种用于制造III-V族p型氮化物结构的方法,所述方法包括:在第一生长环境中生长具有第一受主浓度的第一层p型III-V族材料;在第二生长环境中在所述第一层的顶部上生长第二层p型III-V族材料,其比所述第一层厚并且其具有第二受主浓度;以及在第三生长环境中在所述第二层的顶部上生长第三层p型III-V族材料,其比所述第二层薄并且其具有第三受主浓度。 |
地址 |
330047江西省南昌市南京东路235号南昌大学北区(材料科学研究所) |