发明名称 用于制造p型半导体结构的方法
摘要 本发明的一个实施例提供了一种用于制造III-V族p型氮化物结构的方法。该方法包括在第一生长环境中生长具有第一受主浓度的第一层p型III-V族材料。该方法还包括在第二生长环境中在第一层的顶部上生长第二层p型III-V族材料,其比第一层厚并且其具有第二受主浓度。另外,该方法包括在第三生长环境中在第二层的顶部上生长第三层p型III-V族材料,其比第二层薄并且其具有第三受主浓度。
申请公布号 CN101330118A 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200710112585.6 申请日期 2007.06.22
申请人 晶能光电(江西)有限公司 发明人 江风益;王立;方文卿;莫春兰
分类号 H01L33/00(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 王茂华
主权项 1.一种用于制造III-V族p型氮化物结构的方法,所述方法包括:在第一生长环境中生长具有第一受主浓度的第一层p型III-V族材料;在第二生长环境中在所述第一层的顶部上生长第二层p型III-V族材料,其比所述第一层厚并且其具有第二受主浓度;以及在第三生长环境中在所述第二层的顶部上生长第三层p型III-V族材料,其比所述第二层薄并且其具有第三受主浓度。
地址 330047江西省南昌市南京东路235号南昌大学北区(材料科学研究所)