发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum kontaminationsarmen, automatischen Brechen von Siliciumbruch
摘要
申请公布号 DE502005004997(D1) 申请公布日期 2008.09.25
申请号 DE200550004997T 申请日期 2005.09.29
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 HESSE, KARL DR.;SCHREIEDER, FRANZ
分类号 B02C1/10;B02C2/00;B02C4/30;C01B33/02 主分类号 B02C1/10
代理机构 代理人
主权项
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