PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT SPULE GEEIGNET FÜR RF-EINHÜLLUNG VARIABLER AMPLITUDE,申请号DE20006039874-传众专利搜索

发明名称	PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT SPULE GEEIGNET FÜR RF-EINHÜLLUNG VARIABLER AMPLITUDE
摘要
申请公布号	DE60039874(D1)	申请公布日期	2008.09.25
申请号	DE20006039874	申请日期	2000.06.22
申请人	LAM RESEARCH CORP.	发明人	HOLLAND, JOHN
分类号	H01J37/32;H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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