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发明名称 Work function controlled probe for measuring properties of a semiconductor wafer and method of use thereof
摘要
申请公布号 EP1596212(B1) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20050104011 申请日期 2005.05.13
申请人 SOLID STATE MEASUREMENTS, INC.;APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HOWLAND, WILLIAM H., JR.;HILLARD, ROBERT J.;CHI-SHIN HUNG, STEVEN
分类号 G01R31/319;G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
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