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发明名称 MICROMECHANICAL CAPACITIVE PRESSURE TRANSDUCER AND PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1966578(A1) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20060819667 申请日期 2006.11.22
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZEL, HUBERT;ARMBRUSTER, SIMON;LAMMEL, GERHARD;SCHELLING, CHRISTOPH;BRASAS, JOERG
分类号 G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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