发明名称 |
真空容器、耐压容器和它们的密封方法 |
摘要 |
本发明提供真空容器、耐压容器和其密封方法,在插入有沿周向被分割的环状中间部件的真空容器中,包括中间部件的分割部件之间的间隙在内,均能够划分中间部件的内外气氛。该真空容器的结构为,包括:由沿着中间部件形成为环状、且为了对该中间部件与上述第一部件间气密地进行堵塞而以被按压的状态介于它们之间的弹性体构成的环状的第一密封部;由沿着上述中间部件形成为环状、且为了对该中间部件与上述第二部件间气密地进行堵塞而以被按压的状态介于它们之间的弹性体构成的环状的第二密封部;和为了对相互邻接的上述分割部件间气密地进行堵塞,沿着上述中间部件形成为环状,一方的周边和另一方的周边分别与第一密封部和第二密封部密接的板状部。 |
申请公布号 |
CN101261933A |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
申请号 |
CN200810082911.8 |
申请日期 |
2008.03.07 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
出口新悟;田中善嗣 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01J37/32(2006.01);H05H1/24(2006.01);B01J3/03(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
刘春成 |
主权项 |
1.一种真空容器,其具有一面侧和另一面侧分别与第一部件和第二部件密接并介于这些部件之间的、由沿周向被分割的多个分割部件构成的中间部件,由该中间部件包围的内侧空间和该中间部件的外侧空间中的一方为大气气氛,另一方为真空气氛,其特征在于,包括:由沿着所述中间部件形成为环状、并且为了对该中间部件与所述第一部件之间气密地进行堵塞而以被按压的状态介于它们之间的弹性体构成的环状的第一密封部;由沿着所述中间部件形成为环状、并且为了对该中间部件与所述第二部件之间气密地进行堵塞而以被按压的状态介于它们之间的弹性体构成的环状的第二密封部;和为了对相互邻接的所述分割部件之间气密地进行堵塞,沿着所述中间部件形成为环状,一方的周边和另一方的周边分别与第一密封部和第二密封部密接的板状部,所述板状部设置在大气气氛一侧,或者,所述中间部件被分割成内侧部分和外侧部分,所述板状部设置在它们之间。 |
地址 |
日本东京都 |