| 发明名称 |
SYSTEM, APPARATUS AND METHOD FOR DISPENSING CHEMICAL VAPOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1966601(A1) |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
| 申请号 |
EP20060787900 |
申请日期 |
2006.07.18 |
| 申请人 |
MICROSENSOR SYSTEMS, INC. |
发明人 |
WOHLTJEN, HENRY |
| 分类号 |
G01N33/00;G01N1/00;G01N1/22 |
主分类号 |
G01N33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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