发明名称 |
一种射频匹配器的传感器的鉴相装置和方法 |
摘要 |
本发明所述的一种射频匹配器的传感器的鉴相装置和方法,应用于射频匹配器的传感器中,用于通过射频主传输线检测射频负载阻抗的相位,所述的装置包括信号处理采样电路、单稳态触发器与滤波电路。其中,单稳态触发器对输入信号的要求不是很严格,既不要求两个输入信号的幅度相等又不要求输入为对称的方波,因此系统实现比较容易。虽然系统并不复杂,但是此鉴相方案也能很好的检测负载阻抗的相位。 |
申请公布号 |
CN101221894A |
申请公布日期 |
2008.07.16 |
申请号 |
CN200710063392.6 |
申请日期 |
2007.01.10 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
申浩南 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);G01R27/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京凯特来知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵镇勇;郭宗胜 |
主权项 |
1.一种射频匹配器的传感器的鉴相装置,应用于射频匹配器的传感器中,用于检测射频负载阻抗的相位,其特征在于,包括:信号处理采样电路,用于获取射频传输线上的电压与电流信号,并对所采集的正弦波的电压与电流信号进行处理输出方波信号至边单稳态触发器;单稳态触发器,根据输入的方波电压与电流信号经过处理,输出脉冲控制信号至滤波电路;滤波电路,对输入的窄脉冲控制信号进行低通滤波,输出含有电压与电流信号相位差的输出控制信号。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 |