用作用于形成粒状垂直磁记录介质中夹层的沉积靶的铼基合金和使用所述合金的介质

摘要

铼基合金材料包含＞50at.％铼和至少一种合金化材料，该合金化材料选自粒度细化元素X，其具有大于或小于铼的原子半径，以及在室温或更高的温度下在hcp铼中具有＜～6at.％的固溶度；和晶格匹配元素Y，其具有大于或小于铼的原子半径，以及在室温或更高温度下形成在hcp铼中的固溶体。所述合金材料可以进一步包含至少一种选自氧化物、氮化物和碳化物的材料。包含铼基合金材料的靶用于改进的夹层的溅射沉积，以获得最佳构造的粒状垂直磁记录层。

主权项

1.铼基合金材料，其包括＞50at.％铼和至少一种选自下述的合金化材料：(a)粒度细化元素X，其具有大于或小于铼的原子半径，以及在室温或更高温度下在hcp铼中具有＜～6at.％的固溶度；和(b)晶格匹配元素Y，其具有大于或小于铼的原子半径，并且在室温或更高温度下形成在hcp铼中的固溶体。