分体式钽坩埚及其制造方法

摘要

本发明公开了一种经碳化处理的分体式Ta坩埚及其制造方法，其中本发明的分体式Ta坩埚，包括分别经碳化处理的坩埚盖、坩埚筒和圆凸台的坩埚底，圆凸台的坩埚底具有上凸台和下底座，其中坩埚筒与圆凸台坩埚底的上凸台分体进行配合。本发明分体式坩埚的各部件分别经石墨在高温下进行处理，从而获得坩埚部件表面上均为TaC的坩埚部件，由此坩埚部件配合形成的坩埚成本低廉、寿命长，易于操作，具有重要的工业应用价值。

主权项

1.分体式Ta坩埚，包括分别经碳化处理的坩埚盖(1)、坩埚筒(2)和圆凸台的坩埚底(3)，圆凸台的坩埚底(3)具有上凸台(4)和下底座(5)，其特征在于，坩埚筒(2)与圆凸台坩埚底的上凸台(4)分体进行配合。