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发明名称
Method of manufacturing a self-aligned dual-gates transistor through gate pattern reduction
摘要
申请公布号
EP1788635(B1)
申请公布日期
2008.07.16
申请号
EP20060124271
申请日期
2006.11.17
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
LICITRA, CHRISTOPHE;VINET, MAUD
分类号
H01L29/786;H01L21/336
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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