发明名称 Anti-reflective polymer, anti-reflective composition containing it and pattern forming method using the same
摘要
申请公布号 KR100960464(B1) 申请公布日期 2010.05.28
申请号 KR20070079944 申请日期 2007.08.09
申请人 发明人
分类号 C08G61/02;C08G61/00 主分类号 C08G61/02
代理机构 代理人
主权项
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