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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100960408(B1) 申请公布日期 2010.05.28
申请号 KR20080049650 申请日期 2008.05.28
申请人 发明人
分类号 G02F1/136;H01L21/3065 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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