密封部件及基材处理设备

摘要

一种密封部件，它是便宜的且能够在不需要一双重密封件原本所需之一预定的密封空间下，以绝佳的密封性被紧固。一密封部件密封一减压容器之内部，使其与减压容器外部隔离，在该减压容器中存在有一高－弹性聚合材料－侵蚀之侵蚀物质，且由一基材处理设备所构成，该基材处理设备在一容置于该减压容器中之基材上施行预定的处理。该密封部件具有一基本密封构件及一真空密封构件。该基本密封构件系设置在该减压容器之一内侧上，且系耐得住该侵蚀物质。该真空密封构件系由该高－弹性聚合材料所制成，且系设置在该减压容器之一外侧上。至少一保护空间系经过彼此分开之至少部份该基本密封构件及至少部份该真空密封构件所形成。该基本密封构件及该真空密封构件系装在一起。

主权项

一种在基材处理设备中之密封部件，该基材处理设备具有一减压容器，在该减压容器中存在有一高－弹性聚合材料－侵蚀之侵蚀物质，且在一容置于该减压容器中之基材上施行预定处理，该密封部件密封该减压容器之一内部，并使其与该减压容器外部隔离，该密封部件包含：一第一构件，其系设置在该减压容器之一内部侧上，且系耐得住该侵蚀物质；一第二构件，其由设置在该减压容器的一外部侧上之高弹性聚合材料所制成；及至少一预定空间，其经过彼此分开之至少部份该第一构件及至少部份该第二构件所形成；其中该第一构件及该第二构件系装在一起。