| 摘要 |
Наноэлектромеханический датчик ускорения, содержащий чувствительный элемент, включающий в себя мембрану и зонд, покрытые слоем благородного металла, первый выход чувствительного элемента соединен с усилителем тока, а второй его выход соединен с преобразователем емкость-напряжение, аналого-цифровой преобразователь, преобразователь напряжение-перемещение, выход которого соединен с входом чувствительного элемента, отличающийся тем, что в устройство дополнительно введены преобразователь ток-напряжение, интерфейсный преобразователь, первый и второй компараторы и, первый формирователь напряжений обратной связи, аналоговый сумматор, второй формирователь напряжений обратной связи, второй и третий аналого-цифровые преобразователи, блок обработки информации причем, входы-выходы, блока обработки информации соединены с интерфейсным преобразователем, первый вход которого соединен с первым аналого-цифровым преобразователем, второй вход - с третьим аналого-цифровым преобразователем, третий вход - со вторым аналого-цифровым преобразователем, первый выход интерфейсного преобразователя соединен со вторым входом второго компаратором, а второй его выход соединен со вторым входом первого компаратора, выход преобразователя ток-напряжение соединен с первым аналого-цифровым преобразователем и с первым входом первого компаратора, выход которого последовательно соединен с первым формирователем напряжений обратной связи и с первым входом аналогового сумматора, выход которого подключен к третьему аналого-цифровому преобразователю и к преобразователю напряжение-перемещение, а к входу преобразователя ток-напряже� |
