发明名称 安装设备、检测设备、检测方法以及安装方法
摘要 本发明提供了安装设备、检测设备、检测方法以及安装方法。该安装设备包括涂布单元、获取部分、判断部分和安装机构。涂布单元用涂布剂涂布涂布目标部件的作为涂布目标区的第一区。获取部分获取被涂布单元涂布之前第一区的第一亮度信息和被涂布单元涂布之后第一区的第二亮度信息。判断部分通过对比第一亮度信息和第二亮度信息而判断在第一区中的涂布剂的涂布状态的质量。安装机构在安装目标物上安装通过判断部分判断为第一区中的涂布状态合适的涂布目标部件。
申请公布号 CN101552191A 申请公布日期 2009.10.07
申请号 CN200910133838.7 申请日期 2009.04.03
申请人 索尼株式会社 发明人 伊林义博;河津征雄
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 彭久云
主权项 1、一种安装设备,包括:涂布单元,用涂布剂涂布涂布目标部件的作为涂布目标区的第一区;获取装置,用于获取被所述涂布单元涂布之前所述第一区的第一亮度信息和被所述涂布单元涂布之后所述第一区的第二亮度信息;判断装置,用于通过对比所述第一亮度信息和所述第二亮度信息而判断在所述第一区中的所述涂布剂的涂布状态的质量;以及安装机构,将通过所述判断装置判断为所述第一区中的所述涂布状态合适的所述涂布目标部件安装在安装目标物上。
地址 日本东京都