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发明名称 SYSTEMS FOR INSPECTION OF PATTERNED OR UNPATTERNED WAFERS AND OTHER SPECIMEN
摘要
申请公布号 EP1636572(B1) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 EP20040754334 申请日期 2004.06.04
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 BEVIS, CHRISTOPHER, F.;KIRK, MIKE;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号 G01N21/95;G01N21/47;G01N21/94 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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