电光装置以及电子设备

摘要

本发明的目的在于提供即使在使保持电容的电介质层变薄的情况下，也能够防止在下电极的外周端部和上电极重叠的部分的耐压强度的降低的电光装置以及具备该电光装置的电子设备。在构成液晶装置的保持电容时，形成栅极绝缘层(4)的厚的下层侧栅极绝缘层(4a)，利用干性蚀刻除去与下电极(3c)重叠的部分的下层侧栅极绝缘层(4a)。然后，形成薄的上层侧栅极绝缘层(4b)，把该上层侧栅极绝缘层(4b)用作保持电容(1h)的电介质层(4c)。此时，至少在下电极(3c)的外周端部和上电极(6c)重叠的部分，成为栅极绝缘层(4)的下层侧栅极绝缘层(4a)和上层侧栅极绝缘层(4b)层叠的厚膜部分。

主权项

1.一种电光装置，其特征在于，具备：在元件基板上的多个各个像素区域的每一个上，层叠有栅极电极、栅极绝缘层和半导体层的薄膜晶体管；与该薄膜晶体管的漏极区域电连接的像素电极；以及具备夹着采用了构成所述栅极绝缘层的材料的绝缘层相对的下电极和上电极的保持电容；其中，所述上电极形成为与所述下电极的外周端部的至少一部分重叠；所述栅极绝缘层，在所述下电极和所述上电极重叠的区域的至少内侧区域上具有膜厚薄的薄膜部分，在至少所述下电极的外周端部和所述上电极重叠的部分具有膜厚比所述薄膜部分厚的厚膜部分。