发明名称 Semiconductor base and its manufacturing method, and semiconductor crystal manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1501118(B1) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 EP20040022766 申请日期 2000.03.15
申请人 JP 发明人 JP;JP;JP;JP
分类号 H01L21/205;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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