| 发明名称 |
APPARATUS AND METHODS FOR SECONDARY ELECTRON EMISSION MICROSCOPY WITH DUAL BEAM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1183707(B1) |
申请公布日期 |
2009.10.07 |
| 申请号 |
EP20000936340 |
申请日期 |
2000.05.25 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
VENEKLASEN, LEE;ADLER, DAVID |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/26;H01J37/02;H01J37/285;H01L21/66 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
