压电叠置体器件的制造方法

摘要

一种用于制造压电叠置体器件的方法，所述压电叠置体器件包括交替层压的多个由晶体定向陶瓷构成的压电陶瓷层和多个含有电极的层。通过混合由定向颗粒构成的各向异性成形的粉末和反应原料粉末在混合步骤中制备原材料混合物。之后，按照具有一定的化学计量比的量混合所述各向异性成形的粉末和所述反应原料粉末，以提供各向同性钙钛矿化合物，并向其添加Nb₂O₅粉末和/或Ta₂O₅粉末。在薄板形成步骤中，将所述原材料混合物模制成薄板形状，与此同时使所述各向异性成形的粉末颗粒的晶面几乎单向地定向。在印刷步骤中，将电极材料印刷到所述绿带上。在层压步骤中对印刷步骤之后获得的绿带进行层压。在烧结步骤中烧结由此获得的复合体，以提供压电叠置体器件。

主权项

1、一种制造压电叠置体器件的方法，所述压电叠置体器件具有交替层压的压电陶瓷层和含有电极的层，所述压电陶瓷层由晶体定向陶瓷构成，所述晶体定向陶瓷由包括作为主相的各向同性的钙钛矿化合物的多晶构成，其中，使构成所述多晶的晶粒的晶面{100}定向，所述含有电极的层包括构成了内部电极的电极区，所述方法包括：混合步骤，用于将各向异性成形的粉末与反应原料粉末混合，以提供原材料混合物，所述各向异性成形的粉末仅由各向异性成形的定向颗粒构成，所述定向颗粒的晶面{100}将被定向，所述反应原料粉末将通过与所述各向异性成形的粉末发生反应而提供所述各向同性的钙钛矿化合物；薄板形成步骤，用于将所述原材料混合物模制成薄板形状，从而使所述各向异性成形的粉末颗粒的晶面{100}几乎单向地定向，由此得到绿带；印刷步骤，用于在对所述绿带进行烧结之后，采用电极材料在所述绿带上印刷所述电极区；层压步骤，用于在所述印刷步骤之后将所述绿带层压成层压板；以及烧结步骤，用于通过使所述各向异性成形的粉末和所述反应原料粉末之间发生反应，并通过加热所述层压板而使所述混合物烧结来获得所述压电叠置体器件，所述压电叠置体器件具有交替层压的由晶体定向陶瓷构成的压电陶瓷层和包含电极区的含有电极的层，其中，在所述混合步骤中，按照具有一定的化学计量比的量混合所述各向异性成形的粉末和所述反应原料粉末，从而在所述烧结步骤之后，由所述各向异性成形的粉末和所述反应原料粉末提供通过通式(1)：{Lix(K1-yNay)1-x}a(Nb1-z-wTazSbw)O3，(其中，0≤x≤0.2，0≤y≤1，0≤z≤0.4，0≤w≤0.2，x+z+w＞0，并且0.95≤a≤1)表示的各向同性钙钛矿化合物，并且相对于1摩尔的由通式(1)表示的各向同性钙钛矿化合物混合具有0.005到0.02摩尔的添加量的Nb2O5粉末和/或Ta2O5粉末。