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发明名称 Shadow ring for plasma coating apparatuses
摘要
申请公布号 EP1186684(B1) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 EP20010120376 申请日期 2001.08.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FOERSTER, JUERGEN;HECHT, FRANZ;MUSSGER, WERNER;FRANK, MANFRED;KUHR, JOERG;RAUSCH, NORBERT
分类号 C23C14/50;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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