发明名称 |
一种减薄划片废水的回用工艺和系统 |
摘要 |
本发明利用膜分离技术处理硅片减薄划片废水,将废水中的单晶硅浓缩回收,其中膜透过液作为混床进水回用到生产工艺上。根据本发明的一种硅片减薄划片废水处理方法,包括先采用精密过滤器所述硅片减薄划片废水,再采用中空纤维超滤装置进行处理,获得超滤透过液和浓缩液,最后所述超滤透过液进行深度脱盐处理的过程。减薄划片废水经过本发明回用处理,使水资源充分利用回收,节省了大量工业用水。 |
申请公布号 |
CN101549913A |
申请公布日期 |
2009.10.07 |
申请号 |
CN200810305302.4 |
申请日期 |
2008.10.30 |
申请人 |
浙江东洋环境工程有限公司 |
发明人 |
沈海军 |
分类号 |
C02F9/02(2006.01)I;C02F1/42(2006.01)N |
主分类号 |
C02F9/02(2006.01)I |
代理机构 |
杭州杭诚专利事务所有限公司 |
代理人 |
尉伟敏 |
主权项 |
1.一种减薄划片废水的回用工艺,其特征在于:首先将减薄划片废水经过过滤器,截留废水中的粗硅;然后将过滤后的水经过第一级超滤装置,产水作为深度脱盐装置进行脱盐后供生产用水,浓水进入浓缩液水箱,经过了深度脱盐后的废水排出到废水池内。 |
地址 |
313017浙江省湖州市和孚开发区环山路 |