| 发明名称 | 用于真空镀膜设备的加热装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于真空镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器和加热器，所述蒸镀容器的底部向上凸起形成导热槽；所述加热器的加热部与所述导热槽配合加热。本发明提高了设备的热能利用率，并防止蒸镀室内材料的交叉污染。 | ||
| 申请公布号 | CN101550532A | 申请公布日期 | 2009.10.07 |
| 申请号 | CN200910027614.8 | 申请日期 | 2009.05.14 |
| 申请人 | 苏州大学 | 发明人 | 廖良生;李述汤 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 1.一种用于真空镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器(1)和加热器(2)，其特征在于：所述蒸镀容器的底部向上凸起形成导热槽(3)；所述加热器的加热部(4)与所述导热槽(3)配合加热。 | ||
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号 | ||