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发明名称
摘要
申请公布号	JP4339126(B2)	申请公布日期	2009.10.07
申请号	JP20030565920	申请日期	2003.01.28
申请人		发明人
分类号	C23C16/30;C03C17/34;H01J61/35	主分类号	C23C16/30
代理机构		代理人
主权项
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