一种固体摄像器件

摘要

本发明实现也对应于焦距较短的光学系统(入射角θ较大的光学系统)并且高灵敏度的固体摄像器件。各像素(尺寸□2.8mm)由梯度折射率透镜(1)、G用滤色片(2)、Al布线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(Si光敏二极管)(6)、Si基板(7)构成。梯度折射率透镜的同心圆结构由折射率不同的4种材料TiO₂(n＝2.53)、SiN(n＝2.53)、SiO₂(n＝2.53)、空气(n＝1)构成，相邻的圆形透光膜的外周的半径差为100nm。并且，膜厚为0.4μm。

主权项

1、一种固体摄像器件，平面地配置有多个具有聚光元件的单位像素，该聚光元件具备由折射率不同的多个透光膜构成的集合体，其特征在于，上述集合体中的一个透光膜具有与入射光的波长相同程度或比其短的宽度及预先决定的厚度的同心形状，上述集合体中的其它透光膜以同心状填充不存在上述一个透光膜的空间的全部或一部分；在设上述入射光的入射角度为θ、该集合体的折射率与入射侧介质的折射率的差分的最大值为Δnmax、预定的常数为A、B及C的情况下，在设取决于上述集合体中的面内方向的距离x的、上述集合体的折射率与入射侧介质的折射率的差分为Δn(x)时，上述集合体大致满足Δn(x)＝Δnmax[(Ax2+Bxsinθ)/2π+C]，其中，A、B、C为常数；在位于该固体摄像器件的中央的单位像素的上述一个透光膜或上述其它透光膜、和位于该固体摄像器件的周边的单位像素的上述一个透光膜及上述其它透光膜中，构成它们的透光材料的种类或其排列不同；在位于该固体摄像器件的中央的单位像素的上述集合体的光学中心与该像素的中心一致，位于该固体摄像器件的周边的单位像素的上述集合体的折射率分布的2次曲线的最大值随着入射角度的增加而向光入射侧移动。