基板清洁装置

摘要

本发明提供一种基板清洁装置，用以清除基板表面的异物，该清洁装置包括清洁压头、基座、研磨带以及压力缓冲单元。清洁压头提供压力于该基板。基座相对该清洁压头设置，且该基座具有相对设置的第一表面以及第二表面，该第一表面远离该清洗压头。研磨带设置于该基座的该第一表面，并固定于该基座上，用以研磨该基板的该表面。压力缓冲单元设置于该清洁压头与该基座之间，并连接该清洁压头与该基座。本发明提供的清洁装置，利用研磨带取代刮刀清洁基板表面，有效提升机台清洁能力，降低研磨带更换频率，并降低基板的损伤几率。

主权项

一种基板清洁装置，用以清除基板表面的异物，其特征在于该清洁装置包括：清洁压头，提供压力于该基板；基座，相对该清洁压头设置，且该基座具有相对设置的第一表面以及第二表面，该第一表面远离该清洗压头；研磨带，设置于该基座的该第一表面，并固定于该基座上，用以研磨该基板的该表面；以及压力缓冲单元，设置于该清洁压头与该基座之间，并连接该清洁压头与该基座。