三位一体式微机械谐振梁系统

摘要

三位一体式微机械谐振梁系统，用于微机械器件中的应力或位移测量，利用谐振梁的固有频率计算被测量，由敏感结构和控制电路构成，敏感结构主体为置于恒定磁场中的导电的双端固支谐振梁，谐振梁两端与控制电路相连；控制电路向谐振梁输出间歇式激振信号，检测谐振梁自由振动阶段产生的拾振信号，采用扫描互相关方法解算其振动信息，根据振动信息调节激振信号，并重复此过程以跟踪谐振梁固有频率；激振信号采用线性调频信号，以有效激励未知的固有频率；每次完成检测后，控制电路还利用电磁阻尼效应使谐振梁快速停止，使其工作于间歇振动状态，以降低功耗并提高抗干扰能力。本发明使一个简单谐振梁同时实现谐振器、激励器和检测器三种功能，可有效简化敏感结构。

主权项

三位一体式微机械谐振梁系统，其特征在于：由敏感结构(1)和控制电路(2)构成，敏感结构(1)的主体为置于恒定磁场中的导电的双端固支谐振梁(3)，谐振梁(3)两端与控制电路(2)相连；控制电路(2)向谐振梁(3)输出间歇式激振信号，检测谐振梁(3)自由振动阶段产生的拾振信号，解算其振动信息以调节激振信号，并重复此过程以跟踪谐振梁(3)的固有频率，每次完成检测后，控制电路(2)还利用电磁阻尼效应使谐振梁(3)快速停止，使其工作于间歇振动状态。