用于确定部件的残留污染的化学物质的方法和装置

摘要

一种用于保存半导体处理工具内的易损部件的化学暴露的电子监视设备。该监视设备包括易损部件专用的存储了易损部件的化学暴露的历史的存储器单元、与存储器单元通信的处理器以及向存储器单元和处理器提供功率的电源电路。

主权项

一种用于辅助安全处置半导体处理工具内的易损部件的系统，包括：处理腔，所述易损部件处于其中；电子监视设备，其专用于所述易损部件，并且包括：存储器单元，其被配置用于存储所述处理腔内的所述易损部件的化学暴露的历史；连接到所述存储器单元的处理器，其被配置用于与所述存储器单元通信以存储所述历史；以及连接到所述存储器单元和所述处理器的电源电路，其被配置用于向所述存储器单元和所述处理器传输功率。