发明名称 电子倍增器单元和包括其的光电倍增器
摘要 本发明涉及一种电子倍增器单元等,其通过响应一次电子的入射而多级连续发射二次电子来实现电子的级联倍增。电子倍增器单元具有配置有让一次电子进入的入口孔的第一支撑构件和定位成面向第一支撑构件的第二支撑构件。该第一和第二支撑构件固定用于级联倍增的电子倍增部分和阳极。电子倍增部分包括:至少一个盒型的第一倍增器电极,和具有定位成面向第一倍增器电极并且配置成接收来自第一倍增器电极的二次电子并发射二次电子至第一倍增器电极所在一侧的反射型二次电子发射表面的第二倍增器电极。阳极位于从第一倍增器电极发射的二次电子不能直接到达的位置,且第二倍增器电极改变二次电子的行进路径,使其被保持在第一和第二支撑构件之间的空间内。
申请公布号 CN101111923B 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200580047243.X 申请日期 2005.07.27
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 中村公嗣;大桥洋祐;大石启一;伊藤益保
分类号 H01J43/18(2006.01)I;H01J43/26(2006.01)I;H01J43/22(2006.01)I 主分类号 H01J43/18(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种电子倍增器单元,其特征在于,包括:第一支撑构件,具有让一次电子进入的入口孔;第二支撑构件,定位成面向所述第一支撑构件;第一倍增器电极,由所述第一和第二支撑构件固定并具有反射型二次电子发射表面,该反射型二次电子发射表面配置成响应于穿过所述入口孔的一次电子的入射而发射二次电子进入所述第一和第二支撑构件之间的空间内;第二倍增器电极,由所述第一和第二支撑构件固定并具有反射型二次电子发射表面,该反射型二次电子发射表面定位成面向所述第一倍增器电极,并且配置成响应来自所述第一倍增器电极的二次电子而发射新的二次电子至所述第一倍增器电极所在的一侧;阳极,用于提取在所述第一和第二支撑构件之间的空间内连续倍增而得到的二次电子作为信号,所述阳极由所述第一和第二支撑构件固定在从所述第一倍增器电极发射的二次电子不会直接到达的位置;从所述第一倍增器电极至所述阳极的电子行进距离保持在不小于所述第一支撑构件和所述第二支撑构件之间的距离的2倍。
地址 日本静冈县