检查玻璃基板用的夹持装置

摘要

一种检查玻璃基板用的夹持装置，缩短检查所需的时间，使与玻璃基板的物理接触最小化来抑制缺陷的发生，而且防止玻璃基板的振动来进行正确的检查。检查玻璃基板用的夹持装置由设置在检查区中的固定框架、第1、第2上部夹具、及第1、第2下部夹具构成，第2下部夹具包含：下部夹持机构，被设置成沿固定框架的下侧可自如地左右移动；以及侧部夹持机构，由分别设置在固定框架的两侧、夹持玻璃基板的两端且将玻璃基板拉向两侧以使得玻璃基板被左右拉伸的多个侧部夹具构成。

主权项

一种检查玻璃基板用的夹持装置，为了检查玻璃基板而将其夹持在检查区中，其特征在于，包括：上部夹持机构，由设置在上述检查区中的固定框架和分别设置在上述固定框架的上侧且夹持上述玻璃基板的上端部的第1及第2上部夹具构成，上述第1上部夹具被固定在上述固定框架的上侧，上述第2上部夹具被设置成沿上述固定框架的上侧自如地左右移动；下部夹持机构，由分别设置在上述固定框架的下侧、夹持上述玻璃基板的下端部且将上述玻璃基板拉向下方以使得上述玻璃基板被上下拉伸的第1及第2下部夹具构成，上述第1下部夹具被固定在上述固定框架的下侧，上述第2下部夹具被设置成沿上述固定框架的下侧自如地左右移动；以及侧部夹持机构，由分别设置在上述固定框架的两侧、夹持上述玻璃基板的两端部且将上述玻璃基板拉向两侧以使得上述玻璃基板被左右拉伸的多个侧部夹具构成。