带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法

摘要

本发明属于基本电器元件技术领域，特别是涉及一种带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法，它包括骨架和金属电极层，骨架采用高分子聚合物材料制成，在骨架端面上贴合有金属电极层，所述溅射膜为层状导电体，其特征在于所述电极层至少由两个相邻设置、相互绝缘的层状溅射薄膜电极块构成；本发明是采用真空环境准备、骨架端面清洗和溅射贴膜的工艺方法制造的，与背景技术相比，本发明具有工艺设计合理、全制程无污染、金属电极层与骨架结合牢固、高温焊接性能优良、用料省、耗电低、制造成本低廉、产品结构简单、抗熔蚀、抗拉性强、无污染、符合国际市场的指标要求，它是目前一种较为理想的溅射膜电极贴片电感骨架及其生产方法。

主权项

一种带有溅射膜电极的电感骨架的生产方法，其工艺步骤是真空环境准备、骨架端面清洗和溅射贴膜，具体工序如下：真空环境准备：将骨架端面向上放置在真空镀膜设备的真空腔内，将真空腔抽到高真空状态后，再向真空腔内动态地输入Ar气，维持真空腔内压力在10-1Pa范围内；骨架端面清洗：用所述真空镀膜设备内的等离子清洗装置所产生的射频等离子轰击骨架端面，时间1-3分钟，使骨架端面达到贴膜的洁净要求；溅射贴膜：用真空镀膜设备内的金属溅射靶向骨架洁净端面溅射，使骨架端面溅射沉积底层金属溅射薄膜，该金属溅射薄膜能够与洁净的骨架端面贴合在一起，该底层金属溅射薄膜溅射贴合完成后，将其依次移过渡层、面层金属溅射靶处，在骨架端面上分别溅射贴合过渡层、面层金属溅射膜，各金属溅射膜层的数量可根据产品要求设置，溅射贴膜结束后，关闭抽真空设备，当真空内腔与外界大气压力一致时取出溅射贴膜后的骨架即可。