研磨垫与其制造方法

摘要

一种黏着层与研磨层之间具有均匀的黏着力的研磨垫与其制造方法。此研磨垫的制造方法有两种，一种为先在研磨层上压制黏着层之后，再图案化研磨层即可。另一种为先制造具有与研磨层的图案互补的互补垫，将互补垫堆栈于图案化的研磨层的上方，形成具有平整外形的复合垫。然后于研磨层的另一面压制黏着层，再移除互补垫即可。

主权项

一种研磨垫的制造方法，包括：图案化一研磨层的第一面，形成具有至少一开口的一第一图案；提供一互补垫，该互补垫的互补面具有至少一凸起的一第二图案，该第二图案的外形与该第一图案的外形互补；将该互补垫的互补面堆栈于该研磨层的该第一面上，让该至少一凸起位于该至少一开口之中，形成一外形平整的一复合垫；压制一第一黏着层于该研磨层的第二面；以及移除该互补垫。