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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Maske für das kinetische Kaltgaskompaktieren mit einem Körper zur Abdeckung eines nicht zu beschichtenden Bereichs eines zu beschichtenden Substrats mit einer dem Beschichtungsstoff ausgesetzten Arbeitsseite (7, 17) wobei zumindest die Arbeitsseite (7, 17) eine Härte aufweist, die so ausgelegt ist, dass beim Auftreffen der Beschichtungsparktikel keine plastische Verformung der Arbeitsseite (7, 17) erfolgt oder die Arbeitsseite (7, 17) oder die gesamte Maske (1, 10) aus einem einsatz- oder nitriergehärteten Stahl oder aus einem Hartstoff gebildet sind und/oder einen Hartstoff umfassen. Darüberhinaus umfasst die vorliegende Erfindung auch ein entsprechendes Verfahren unter Einsatz einer derartigen Maske
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