| 发明名称 |
Vorrichtung zum Auffinden von Fehlstellen in Halbleiterbauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE202009017763(U1) |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
| 申请号 |
DE20092017763U |
申请日期 |
2009.12.18 |
| 申请人 |
GRAPHIKON GESELLSCHAFT FUER BILDBEARBEITUNG UND COMPUTERGRAPHIK MBH |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N21/66;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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