发明名称 管理方法及管理装置
摘要 本发明提供一种管理方法,该方法是针对通过多道生产工序生产电子器件的被管理生产线,管理各道生产工序中使用的各个生产装置的管理方法;具有:基准特性取得阶段,其取得基准器件的特性,该基准器件通过可实施多道生产工序的、预定的基准生产线生产;比较器件生产阶段,其使被管理生产线处理多道生产工序中的至少一道生产工序,使基准生产线处理其它生产工序,生产比较器件;比较特性测定阶段,其测定比较器件的特性;特性比较阶段,其比较基准器件的特性和比较器件的特性;判定阶段,其根据特性的差异,判定处理比较器件的被管理生产线的生产工序中使用的生产装置是否良好。
申请公布号 CN101273311B 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200580051700.2 申请日期 2005.09.27
申请人 爱德万测试株式会社;国立大学法人东北大学 发明人 冈安俊幸;须川成利;寺本章伸
分类号 G05B19/418(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人 齐永红
主权项 一种管理方法,是针对通过多道生产工序生产电子器件的被管理生产线,管理各道生产工序中使用的各个生产装置的管理方法,其特征在于具有:基准特性取得阶段,其取得基准器件的特性,该基准器件通过可实施前述多道生产工序的、预定的基准生产线生产;比较器件生产阶段,其使前述被管理生产线处理前述多道生产工序中的至少一道生产工序,使前述基准生产线处理其它生产工序,生产比较器件;比较特性测定阶段,其测定前述比较器件的特性;特性比较阶段,其比较前述基准器件的特性和前述比较器件的特性;判定阶段,其根据前述特性的差异判定用于前述至少一道生产工序的前述生产装置是否良好。
地址 日本东京都