一种气/固两相复合回转基准方法与装置

摘要

气/固两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，通过在气浮轴系的轴向止推气膜内施加轴向固体支承，形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式，显著提升轴向刚度和承载能力；在气浮轴系的径向气膜内施加径向固体支承，利用弹性元件的微小弹性变形耗散主轴的中、高频微振动能量，并利用弹性元件的变形储能与静摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其装置分别在轴向止推气膜和径向气膜内配装固体弹性元件；本发明可建立一种同时兼顾高精度、高刚度、大承载、低振动以及高位移灵敏度的回转基准。

主权项

一种气/固两相复合回转基准方法，其特征在于该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，具体包括以下步骤：1)将气浮主轴、气浮主轴上止推板和气浮轴套配装，构建一气浮轴系结构，并在气浮轴系的轴向止推气膜和径向气膜内形成气体支承和润滑；2)在气浮轴系轴向止推气膜内施加轴向固体支承元件，该轴向固体支承元件的下端固连在气浮轴套上止推面上，其上端与气浮主轴上止推板接触配合，且该轴向固体支承元件采用三个或三个以上且整体呈环形均布配置结构；3)在气浮轴系径向气膜内施加径向固体支承元件，该径向固体支承元件的一端与气浮轴套固接，另一端与气浮主轴接触配合，且该径向固体支承元件采用每排三个或三个以上在圆周方向上均布、且沿轴向呈双排或多排配置结构。