发明名称 粒子检测方法以及粒子检测设备
摘要 本发明涉及一种能够精确地检测低速粒子数量的粒子检测方法,以及一种粒子检测设备。使用光接收感测器以预定时间间隔测量当发射入气流的光被粒子散射时所产生的散射光的强度。将用以测量散射光强度的测量周期分成每个定义为一预定周期的测量周期,并且在每个测量周期中选择一可测量所测量的散射光强度最大值的测量时间点。根据在每个测量周期选择的所测量的时间点对已自光接收感测器前方通过的粒子数量进行计数。
申请公布号 CN1789971B 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200510125855.8 申请日期 2005.11.30
申请人 东京毅力科创株式会社;株式会社拓普康 发明人 齐藤进;矶崎久;柿沼隆司;西冈范刚;野田启
分类号 G01N15/06(2006.01)I;G01N15/02(2006.01)I;G01N21/49(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I 主分类号 G01N15/06(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人 寿宁;张华辉
主权项 一种检测气流所携带粒子的粒子检测方法,其特征在于其包括:一散射光强度测量步骤,使用光接收单元以预定时间间隔测量当发射入气流的光被粒子散射时所产生的散射光强度;一最大强度测量时间选择步骤,将用以测量所述散射光强度的测量周期分成每个定义为一预定周期的测量周期,并且在每个测量周期中选择一可测量所测量的散射光强度最大值的测量时间点;以及一通过粒子计数步骤,根据在每个测量周期中选择的所测量的时间点对已自光接收单元前方通过的粒子数量进行计数。
地址 日本东京