碳纳米管成膜方法、成膜装置及碳纳米管薄膜

摘要

本发明的目的在于提供一种可在低温下有效、且大量、廉价地制造可用作工业材料的单壁碳纳米管的薄膜的方法及装置，所述方法及装置的特征在于：利用流动气相CVD法而将原料源合成为碳纳米管，并在连结于反应管的腔室内，使合成的碳纳米管直接附着于基板上而在基板上成膜。

主权项

一种碳纳米管成膜方法，其特征在于：利用流动气相化学气相沉积法将原料源合成为碳纳米管，并在连结于反应管的腔室内，使合成的所述碳纳米管直接附着于基板上而在所述基板上成膜。